无尘室主要是由下列各项系统所组成的
浏览次数：3955发布日期：2022-03-15
无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。
无尘室构成：
无尘室的构成是由下列各项系统所组成，在所组成的系统分子中是缺一不可的，否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室：
1、天花板系统：包括吊杆、纲)、天花板格子梁；
2、空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等；
3、隔墙板(Partitional wall)：包括窗户、门；
4、地板：包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面；
5、照明器具：包括日光灯、黄色灯管等；
6、无尘室之建筑主体构造，一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：
?、?、不会因温度变化与振动而发生裂痕；
?、凇⒉灰撞⒊玖Ｗ?，且很难附着粒子；
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④、为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高。
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