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洁净棚的洁净度
浏览次数：2937发布日期：2014-05-26
洁净棚的洁净度往往受到气流的影响，换而言之，即人、机器设备、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。 洁净棚根据净化等级的要用HEPA过滤器、ULPA超空气过滤器过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，以满足净化空气的要求。洁净棚内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度在0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以zui适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。 另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。 垂直层流式方向要保持均一气流必须：(a)吹出面的风速不可有速度上的差异；(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。 影响因素 影响洁净棚的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。
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